棱鏡耦合測試儀的特性及應(yīng)用領(lǐng)域介紹

更新更新時間：2021-12-15 點擊次數(shù)：1061

　　棱鏡耦合測試儀主要是用于電解質(zhì)和聚合物膜的厚度、折射率和波導(dǎo)參數(shù)的快速測量。適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉條紋產(chǎn)生的基礎(chǔ)上通過改變角度產(chǎn)生干涉條紋（VAMFO-變角度單色條紋觀測）的方法。

　　對于厚膜折射率的測量，單色光被直接照射到被測樣品上，這樣，從薄膜表面反射回來的光的干涉小值就會發(fā)生變化，光的入射角也會發(fā)生變化。在這種技術(shù)中，薄膜厚度是由兩個干涉小值的角的位置計算出來的。對于這種測量條件——薄膜具有兩個或兩個以上的干擾小值——薄膜厚度必須大于低脫粒率，通常為2微米。樣品夾持機采用真空從背面支撐樣品，安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜。可測量的薄膜/襯底類型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。

　　一、棱鏡耦合測試儀的特性：

　　1、薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度測量，包括梯度折射率的測量；

　　2、體材料折射率的測量；

　　3、薄膜及體材料的雙折射測量；

　　4、移動光纖測試波導(dǎo)損耗；

　　5、雙層薄膜測量（甚至在波長1310nm或1550nm處有幾個~?厚度）；

　　6、不相關(guān)的薄膜/基板組合；

　　7、無需預(yù)先知識，操作簡單；

　　8、批量或基板材料的準(zhǔn)確測量；

　　二、主要應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、光波導(dǎo)器件；

　　2、激光晶體材料；