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棱鏡耦合測試儀的主要測試功能
更新更新時間：2022-12-14 點擊次數：805
棱鏡耦合測試儀采用棱鏡耦合方法測試樣品折射率，可測試波長633nm、935nm、1549nm處的折射率值，通過軟件做曲線耦合科求出任何波段的模擬值。可以提供精確的、非接觸、無損膜厚度測量，適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉條紋產生的基礎上通過改變角度產生干涉條紋（VAMFO-變角度單色條紋觀測）的方法。
對于厚膜折射率的測量，單色光被直接照射到被測樣品上，這樣，從薄膜表面反射回來的光的干涉小值就會發生變化，光的入射角也會發生變化。在這種技術中，薄膜厚度是由兩個干涉小值的角的位置計算出來的。對于這種測量條件——薄膜具有兩個或兩個以上的干擾小值——薄膜厚度必須大于低脫粒率，通常為2微米。樣品夾持機采用真空從背面支撐樣品，安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質、聚合物或薄膜。可測量的薄膜/襯底類型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。
主要測試功能：
1、薄膜及波導折射率/厚度/光損測量；
2、體材料折射率的測量；
3、薄膜及體材料的雙折射測量；
4、液體折射率的測量；
5、折射率隨溫度變化的測量分析；
6、折射率隨深度變化的測量分析；
主要應用領域：
1、光波導器件芯片的制備；
2、激光晶體的制備；
3、聚合物材料的屬性研究；
4、顯示技術材料的測量；
5、光/磁存儲材料的測量；
6、光學薄膜的制備。
