簡要描述：軟X射線探測器的軟X射線可直接照射探測器，無需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換，
按可檢測X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要，分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列，Z低可檢測0.04nm的軟X射線，擁有快速響應(yīng)的探測器，響應(yīng)速度達到ps量級，多元陣列，積分放大電路，并可根據(jù)需要集成帶通濾光片，四象限位置傳感器（Quadrant PSD）

美國IRD公司,成立于1991年，專業(yè)生產(chǎn)用于UV,XUV,EUV和軟X射線檢測的硅材料探測器，是世界的射線探測器生產(chǎn)廠商。IRD公司為眾多研究機構(gòu)提供探測器，其生產(chǎn)的5mm-250mm硅光電管通過了美國NIST認證，被為*合格供應(yīng)商。

 軟X射線探測器

IRD探測器的特點如下：

• 軟X射線可直接照射探測器，無需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換
• 按可檢測X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要，分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列，zui低可檢測0.04nm的軟X射線
• 快速響應(yīng)的探測器，響應(yīng)速度達到ps量級
• 多元陣列，積分放大電路，并可根據(jù)需要集成帶通濾光片
• 四象限位置傳感器（Quadrant PSD）

AXUV系列                                                                      

AXUV系列適用于真空紫外、紫外和，由于不同于常見的pn結(jié)二管，這些二管沒有摻雜死區(qū)，加之零表面復(fù)合處理，可以在紫外/紫外范圍內(nèi)，達到理想化的100%內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化。 

IRD還提供與Cr,W,Au,Fe,Al等濾光片耦合的探測器，可以達到探測波長的效果。

SXUV系列                                                                       

   由于在硅PN結(jié)光電二管前耦合鉑硅化物入射窗，使得探測器可以探測超紫外光子（能量范圍4ev—12KeV）。該系列二管由超大規(guī)模集成電路制造而成。

IRD還提供與Zr，Si3N4,Si,SiC,Mo,Al濾光片耦合的探測器，可以達到探測波長的效果。 

當(dāng)脈沖能量超過20mJ,IRD還開發(fā)了帶衰減器的探測器，以減少UV/EUV脈沖射線對探測器的沖擊。

UVG系列                                                                      

UVG系列PN結(jié)光電探測器可以實現(xiàn)100%的光生載流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。與傳統(tǒng)的二管不同的是，這些二管沒有摻雜死區(qū)，加之零表面復(fù)合處理，可以在紫外/紫外范圍內(nèi)，達到理想化的100%內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化